简介： 本发明公开一种偏滤器模块其制备方法，该偏滤器模块由纯Cu层、W/Cu梯度合金层和纯W层的三层结构组成，在纯W层和W/Cu梯度合金层的界面处有钨丝阵列，在纯Cu层中有贯穿孔道；所述纯Cu层和W/Cu梯度合金层之间为冶金结合。本发明的偏滤器模块具有通过梯度中间层来缓和热应力、利用钨丝阵列强化结构来提高界面结合强度的特点。