简介： 本发明属于微液体系统技术领域,具体涉及一种全浮动膜片微单向阀及其加工方法。它是由一个、两个或多个阀体零件装配而成的阀体和在阀体中自由浮动的一片或多片膜片组成,阀体的阀腔内壁上设有与膜片配合可以阻止或利于流体的通过、控制流体流向的相应结构,从而控制流体的流向。其加工方法为:阀体和浮动膜片采用热压、注塑成型、电镀沉积、冲压、切削加工、粉末冶金、快速成型技术、薄膜加工技术、阴极溅射技术、硅加工技术之一或其组合进行加工;浮动膜片采用自动或手工置入阀体中。本发明具有效率高、寿命长、结构简化、造价低的优点。