简介： 本发明提供的制备高纯氯硅烷的方法，通过冶金级硅与氯化氢反应制备得到的氯硅烷，通过粗精馏将大部分硼磷杂质去除，再通过吸附将剩下的极少量的硼磷杂质去除，同时通过对吸附剂的种类搭配选用，降低吸附剂的更换频率，实现低成本的提纯氯硅烷，同时简化操作程序，从而适合工业化。该方法能高效除去氯硅烷中硼磷杂质，减少精馏程序，并延长吸附剂使用寿命长，降低成本，以适合工业化。