简介： 本发明提供一种高致密、高界面结合的Mo/Ag层状复合材料的制备方法。该方法在Mo层表面首先采用离子注入技术注入Ag，形成Mo/Ag合金层；然后采用磁控溅射技术沉积Ag层，利用磁控溅射过程中高能银离子对Mo层表面的轰击效应，沉积得到平整致密的Ag层；最后通过退火处理，促进Mo/Ag界面处原子的相互扩散，形成冶金结合。制得的Mo/Ag层状复合材料具有高致密性欲高界面结合力，可用于对致密性与界面结合要求高的场合，例如，用于空间飞行器太阳能电池互连片等。