简介： 本申请涉及粉末冶金技术领域，具体公开了一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、将海绵钛和铝块混合后熔炼得到TiAl合金铸锭；S2、将TiAl合金铸锭破碎成一定粒度的TiAl合金粉；S3、将TiAl合金粉与Ti粉或TiAl合金粉、Ti粉与Me粉按照比例称量后混合均匀分别制得TiAl粉末或TiAlMe粉末；S4、将制得的TiAl粉末或TiAlMe粉末模压成型制得冷压坯；S5、将上述预成型冷压坯进行脱气处理后，采用热等静压成型，制得坯料；S6、将热等静压后的坯料进行加工后，得到所需要的靶材产品。本申请的制备方法具有降低高Ti低Al靶材的成型难度的优点。