简介： 本发明公开了一种提高Al₂O₃陶瓷与镍基合金焊接性能的表面处理方法，包含以下步骤：(1)采用Ni‑Ti合金靶材，利用双辉等离子表面冶金方法在镍基合金表面制备Ni‑Ti合金层；所述Ni‑Ti合金层包括Ni‑Ti沉积层及互扩散层；(2)利用离子注入方法在Al₂O₃陶瓷表面注入Ti离子；(3)将步骤(1)得到的经双辉等离子表面冶金方法处理得到的镍基合金及步骤(2)得到的经表面处理的Al₂O₃陶瓷，在真空扩散焊设备中实现焊接。本发明可实现Al₂O₃陶瓷与镍基合金的真空扩散焊接，大幅度提高真空扩散焊在Al₂O₃陶瓷/镍基合金焊接工艺中的应用。