用于半导体切片的复合直线型划片刀及其制造方法
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用于半导体切片的复合直线型划片刀及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种用于半导体切片的复合直线型划片刀及其制造方法,该直线型划片刀包括柔性基体、热稳定支撑层、致密微弧氧化膜层三个部分;其中柔性基体具体为由按重量份计铝锭80份‑85份、AlSi10铝硅中间合金锭15份‑18份、(CrFe)Al7合金锭3份‑5份、镁粉块3份‑5份、正硅酸乙脂6份‑8份通过粉末冶金烧结的充分时效过饱和固溶体;热稳定支撑层具体为按重量份计废弃镍铬系高温合金25份‑30份、活性碳粉3份‑5份、铝粉18份‑20份通过铝熔化后形成半流体再喷出均匀固化在柔性基体表面;致密微弧氧化层固定生长在热稳定支撑层表面。本发明切削震刀率低、韧性足、自润滑、耐高温、稳定性极好。
本发明公开了一种用于半导体切片的复合直线型划片刀及其制造方法,该直线型划片刀包括柔性基体、热稳定支撑层、致密微弧氧化膜层三个部分;其中柔性基体具体为由按重量份计锭80份‑85份、AlSi10铝硅中间合金锭15份‑18份、(CrFe)Al7合金锭3份‑5份、镁粉块3份‑5份、正硅酸乙脂6份‑8份通过粉末冶金烧结的充分时效过饱和固溶体;热稳定支撑层具体为按重量份计废弃铬系高温合金25份‑30份、活性碳粉3份‑5份、铝粉18份‑20份通过铝熔化后形成半流体再喷出均匀固化在柔性基体表面;致密微弧氧化层固定生长在热稳定支撑层表面。本发明切削震刀率低、韧性足、自润滑、耐高温、稳定性极好。
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标签:电冶金技术
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