采用液态滤网提纯多晶硅的方法
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采用液态滤网提纯多晶硅的方法
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简介: 一种采用液态滤网提纯多晶硅的方法,属于冶金提纯领域。本发明的方法是在硅定向凝固提纯过程中加入一定量熔点低于硅熔点,且密度大于硅密度的金属元素或合金或金属混合物,在硅铸锭冷却过程中合金形成液态滤网,而硅中各种杂质随滤网由下而上过滤到铸锭表面。本发明的方法可以有效降低硅中杂质含量,特别是B杂质含量,可以将B含量由原来的2-4ppmwt降到0.5-1ppmwt。采用本发明的方法,可将4-5N多晶硅有效提纯至6N以上。
一种采用液态滤网提纯多晶硅的方法,属于冶金提纯领域。本发明的方法是在硅定向凝固提纯过程中加入一定量熔点低于硅熔点,且密度大于硅密度的金属元素或合金或金属混合物,在硅铸锭冷却过程中合金形成液态滤网,而硅中各种杂质随滤网由下而上过滤到铸锭表面。本发明的方法可以有效降低硅中杂质含量,特别是B杂质含量,可以将B含量由原来的2-4ppmwt降到0.5-1ppmwt。采用本发明的方法,可将4-5N多晶硅有效提纯至6N以上。
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标签:电冶金技术
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