简介： 金属和非金属元素的等离子共渗工艺,属于表面冶金的范畴,主要解决金属和非金属元素等离子共渗的表面合金化问题。其特征在于:利用双层辉光离子渗金属技术,在通入惰性气体的同时通入带有非金属元素的反应性气体,使反应性气体中的元素参与离子溅射、电离和渗入过程,在源极中的金属元素渗入被渗金属材料的同时,反应性气体中的非金属元素也同时渗入被渗金属材料表面,从而实现一次形成金属非金属元素共渗的表面合金层。