三氯甲硅烷生产
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三氯甲硅烷生产
来源:北方有色网
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简介:
方法,其包括在包括250-400℃的温度和2-33barg的压力的反应条件下,在反应器中将氯化氢、冶金级硅和诸如四氯化硅的第三气体结合足够的时间以将冶金级硅转化为包含三氯甲硅烷的排出气。
方法,其包括在包括250-400℃的温度和2-33barg的压力的反应条件下,在反应器中将氯化氢、冶金级硅和诸如四氯化硅的第三气体结合足够的时间以将冶金级硅转化为包含三氯甲
硅烷
的排出气。
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标签:电冶金技术
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