简介： 本发明公开了一种提高Si₃N₄陶瓷与钛合金焊接性能的表面处理方法，包括以下步骤：步骤a，利用双辉等离子表面冶金技术在钛合金表面制备镍合金层；步骤b，利用离子注入技术在Si₃N₄陶瓷表面注入Ti离子；步骤c，将经步骤a处理后的钛合金表面及经步骤b处理后的Si₃N₄陶瓷表面在真空扩散焊设备中实现焊接。本发明以双辉等离子表面冶金技术和离子注入技术为手段，能够实现Si₃N₄陶瓷与不同钛合金的真空扩散焊接，大幅度提高真空扩散焊在Si₃N₄陶瓷/钛合金焊接工艺中的应用。