简介： 本发明提供一种低氧TZM合金的制备方法,包括1)原料选取:将费氏粒度为4μm～50μm的工业钼粉、费氏粒度为3μm～10μm的含有钛、锆的粉末、以及费氏粒度为0.1μm～3μm的碳单质粉末以一定的质量比混合均匀;2)原料成型:将混和原料在100MPa～300MPa的压力下处理以得到成型坯料;3)原料烧结:将成型坯料在真空、氢气或惰性气体环境中、在1800℃～2300℃的温度下烧结5～15小时得到低氧TZM合金。解决了应用粉末冶金法制备出TZM合金的氧含量高的问题。应用该方法制得的低氧TZM合金,可用于X射线管旋转阳极靶、复合靶基靶、高温坩埚、热锻模具以及高温陶瓷垫的制备。