简介:
一种颗粒增强致密复合涂层的制备方法,其特征在于,将金刚石粉末、碳粉按1:1~5比例球磨混合20~40h,球磨后的混合粉末、无水乙醇、金属盐化物混合配制成电泳悬浮液,其中金刚石溶度为1~5g/L。负极电极材料选择为单晶硅片,接通电泳仪,开始在单晶硅片上电泳沉积混合粉末,电泳沉积时间为0.5~5min。磁力搅拌器搅拌转速为100~500r/min,电泳沉积结束,小心取出沉积试样,室温下烘干18~24h后平放于石墨基底表面,放入高真空反应炉中,在惰性气氛下升至1500~1600℃保温3~10h,开始反应烧结复合涂层。本发明通过冶金反应在基体和金刚石表面形成致密碳化硅结合相,提高金刚石的结合强度,电泳沉积混合粉末颗粒均匀致密,利于涂层反应均匀充分,制备周期短,成本低。
一种颗粒增强致密复合涂层的制备方法,其特征在于,将金刚石粉末、碳粉按1:1~5比例球磨混合20~40h,球磨后的混合粉末、无水乙醇、金属盐化物混合配制成电泳悬浮液,其中金刚石溶度为1~5g/L。负极电极材料选择为单晶硅片,接通电泳仪,开始在单晶硅片上电泳沉积混合粉末,电泳沉积时间为0.5~5min。磁力搅拌器搅拌转速为100~500r/min,电泳沉积结束,小心取出沉积试样,室温下烘干18~24h后平放于石墨基底表面,放入高真空反应炉中,在惰性气氛下升至1500~1600℃保温3~10h,开始反应烧结复合涂层。本发明通过冶金反应在基体和金刚石表面形成致密
碳化硅结合相,提高金刚石的结合强度,电泳沉积混合粉末颗粒均匀致密,利于涂层反应均匀充分,制备周期短,成本低。