简介： 本发明提供适合于以廉价的冶金级金属硅为原料,通过炉渣精炼法以工业规模廉价地制造很适合于太阳能电池用途的纯度为6N以上的高纯度硅、特别是硼含量至多为0.3质量PPM以下的高纯度硅的、高纯度硅的制造装置以及制造方法,在采用炉渣精炼法的高纯度硅的制造装置以及制造方法中,在坩埚的外壁面外侧配有具有直接地电磁感应加热坩埚内的熔融硅的功能的直接电磁感应加热装置的同时,所述坩埚的、至少在未向直接电磁感应加热装置通电时熔融硅与坩埚内壁面接触的区域由耐氧化性材料形成。