简介： 一种铝钛铌合金靶材及其制备方法，该铝钛铌靶材由以下原子百分比的原料制成：铝50%~75%；钛25~40%；铌0.5~25%。本发明还包括铝钛铌合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝、钛、铌之间原子扩散实现冶金结合，在温度和压力的共同作用下，获得致密度高的铝钛铌三元合金靶材，是一种短流程、易操作的粉末冶金靶材生产过程。