简介:
一种浮法冶金融熔生长太阳能多晶带硅及杂质提纯方法,涉及光电产业及半导体产业的多晶硅制作。以高纯石墨坩埚为液槽,以BI-SI融体为基本母液成分,采用真空电阻炉设备作为整个体系的升温装置,通过改变条件,调控调控微观硅晶体从母液中析出带硅,然后在惰性气体保护下采用激光退火、灯光退火、电子束退火、区熔退火等再结晶实验手段进行处理,改善晶体结构,促使晶粒长大。
一种浮法冶金融熔生长太阳能多晶带硅及杂质提纯方法,涉及光电产业及半导体产业的
多晶硅制作。以高纯
石墨坩埚为液槽,以BI-SI融体为基本母液成分,采用真空电阻炉设备作为整个体系的升温装置,通过改变条件,调控调控微观硅晶体从母液中析出带硅,然后在惰性气体保护下采用激光退火、灯光退火、电子束退火、区熔退火等再结晶实验手段进行处理,改善晶体结构,促使晶粒长大。