简介： 本发明公开了一种精炼冶金硅的杂质含量检测方法,包括如下步骤:(1)在所需检测的晶棒或晶锭上沿结晶方向选取测量点,测定电阻率,获得电阻率随结晶分数分布的实测值;(2)给出每个测量点的硼和磷含量的预估值,算出预估净余载流子浓度,以及该点的实测净余载流子浓度;(3)比较各个测量点的净余载流子浓度实测值和预估值,调整硅材料中的杂质含量预估值,获得新的每个测量点预估净余载流子浓度,通过回归分析法确定硼和磷的杂质含量分布情况;(4)根据各个测量点的杂质分布情况,得出待测材料中的硼和磷的平均杂质含量。本发明能够准确地测出精炼冶金硅中硼和磷的杂质含量,且操作简便,成本低廉,适于工业化应用。