简介： 本发明提供一种耐磨损性优异的硬质皮膜被覆部件及使用该部件的冶金工具,以及用于形成硬质皮膜的靶。所述硬质皮膜被覆部件(1),其在基材(2)上具备硬质皮膜(3),其特征为,硬质皮膜(3)的组成由(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)构成,且所述R为选自Ho、Sm、Dy、La的一种以上的元素,在所述a、b、c、d、e、f、y、z为原子比时,满足0.05≤a≤0.3、0.05≤b≤0.3、0.4≤c≤0.65、0≤d≤0.05、0≤e≤0.05、0.005≤f≤0.05、a+b+c+d+e+f=1、0≤y≤0.3、0.7≤z≤1、y+z=1。