简介： 本发明公开了一种制造精炼冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法,包括如下5个步骤:热处理、氧化处理、磷扩散、驱入处理和保温,从而完成精炼冶金多晶硅片的磷扩散处理。本发明的磷扩散方法可以降低太阳能电池的漏电流,提高电池的可靠性。