权利要求

1.一种铟基合金靶材静压成型装置，其特征在于，包括立架、顶升组件和承压组件，其中：

立架包括置顶平台和两个立柱，置顶平台包括定位块，两个立柱分设于置顶平台的两侧并且分别与置顶平台固定连接;

顶升组件包括顶升器和静压平台，顶升器包括顶升杆，顶升杆内接于定位块并且与定位块固定连接，静压平台包括定位板、静压板和两个夹板，定位板位于静压板的中部并且与静压板固定连接，两个夹板分设于静压板的两侧并且分别与静压板固定连接，两个夹板分别夹紧位于同侧的立柱;

承压组件与立架可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的铟基合金靶材静压成型装置，其特征在于，承压组件包括两个承压板，两个承压板之间具有间距，两个承压板分别与两个立柱可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的铟基合金靶材静压成型装置，其特征在于，承压组件还包括两个间板，两个间板均位于两个承压板之间的空间，两个间板分别与两个承压板固定连接，两个间板分别与位于同侧的立柱之间具有间距。

4.根据权利要求1所述的铟基合金靶材静压成型装置，其特征在于，顶升组件还包括两个保护结构，两个保护结构分设于顶升器的两侧，两个保护结构相对于顶升器对称分布。

5.根据权利要求4所述的铟基合金靶材静压成型装置，其特征在于，保护结构包括弹簧和吊杆，弹簧的一端与置顶平台固定连接，弹簧的另一端与吊杆的一端固定连接，吊杆的另一端与静压板固定连接。

说明书

技术领域

[0001]本实用新型属于靶材加工领域，具体涉及一种铟基合金靶材静压成型装置。

背景技术

[0002]公开号为CN209532069U，主题名称为一种粗铟极板成型装置的实用新型专利，其IPC分类号为 ，其技术方案公开了“粗铟极板成型装置包括n个隔板和n-1个模型板，模型板包括主板和设置在主板两侧相对的侧板，主板和两侧板形成半包围的腔体;隔板设置在模型板的一开口端，与模型板的两个侧板及主板连接;隔板与模型板交替设置，且隔板位于粗铟极板成型装置的两端;其中n为不小于2的整数”。

[0003]由此可见，以上实用新型专利已经公开了粗铟极板成型装置的其中一种技术方案。然而，以上实用新型专利公开的技术方案，侧重于节省空间，提高生产效率，提高生产安全性，并未进一步解决适应不同厚度靶材坯料的成型需求等问题，需要予以进一步改进。

实用新型内容

[0004]本实用新型针对现有技术的状况，克服以上缺陷，提供一种铟基合金靶材静压成型装置。

[0005]本实用新型采用以下技术方案，铟基合金靶材静压成型装置，包括立架、顶升组件和承压组件，其中：

[0006]立架包括置顶平台和两个立柱，置顶平台包括定位块，两个立柱分设于置顶平台的两侧并且分别与置顶平台固定连接;

[0007]顶升组件包括顶升器和静压平台，顶升器包括顶升杆，顶升杆内接于定位块并且与定位块固定连接，静压平台包括定位板、静压板和两个夹板，定位板位于静压板的中部并且与静压板固定连接，两个夹板分设于静压板的两侧并且分别与静压板固定连接，两个夹板分别夹紧位于同侧的立柱;

[0008]承压组件与立架可拆卸连接。

[0009]作为以上技术方案的优选技术方案，承压组件包括两个承压板，两个承压板之间具有间距，两个承压板分别与两个立柱可拆卸连接。

[0010]作为以上技术方案的优选技术方案，承压组件还包括两个间板，两个间板均位于两个承压板之间的空间，两个间板分别与两个承压板固定连接，两个间板分别与位于同侧的立柱之间具有间距。

[0011]作为以上技术方案的优选技术方案，顶升组件还包括两个保护结构，两个保护结构分设于顶升器的两侧，两个保护结构相对于顶升器对称分布。

[0012]作为以上技术方案的优选技术方案，保护结构包括弹簧和吊杆，弹簧的一端与置顶平台固定连接，弹簧的另一端与吊杆的一端固定连接，吊杆的另一端与静压板固定连接。

[0013]本实用新型公开的铟基合金靶材静压成型装置，其有益效果在于，靶材坯料的初始高度可灵活调节，从而适应不同厚度靶材坯料的成型需求，提高设备通用性。此外，增设对称分布的保护结构，有效平衡静压板在施力过程中的受力分布，增强设备稳定性和运行平顺性。

附图说明

[0014]图1是本申请的主视图。

[0015]图2是本申请的一个视角的立体图。

[0016]图3是本申请的另一视角的立体图。

[0017]图4是本申请的侧视图。

[0018]图5是本申请的立架的立体图。

[0019]图6是本申请的顶升组件的立体图。

[0020]图7是图2的A区域的局部放大图。

[0021]图8是图3的B区域的局部放大图。

[0022]附图标记包括：100-立架;110-置顶平台;111-定位块;120-立柱;200-顶升组件;210-顶升器;211-顶升杆;212-顶升驱动器;220-静压平台;221-定位板;222-静压板;223-夹板;230-保护结构;231-弹簧;232-吊杆;300-承压组件;310-承压板;320-间板。

具体实施方式

[0023]本实用新型公开了一种铟基合金靶材静压成型装置，下面结合优选实施例(实施例1)，参见附图的图1至图8，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。

[0024]参见附图的图1至图8，图1至图4分别示出了不同视角的铟基合金靶材静压成型装置，图5示出了立架，图6示出了顶升组件，图7和图8分别示出了铟基合金靶材静压成型装置的局部结构。

[0025]实施例1。

[0026]优选地，铟基合金靶材静压成型装置，包括立架100、顶升组件200和承压组件300，其中：

[0027]立架100包括置顶平台110和两个立柱120，置顶平台110包括定位块111，两个立柱120分设于置顶平台110的两侧并且分别与置顶平台110固定连接;

[0028]顶升组件200包括顶升器210和静压平台220，顶升器210包括顶升杆211，顶升杆211(的顶部)内接于定位块111并且与定位块111固定连接，静压平台220包括定位板221、静压板222和两个夹板223，定位板221位于静压板222的中部并且与静压板222固定连接，两个夹板223分设于静压板222的两侧并且分别与静压板222固定连接，两个夹板223分别夹紧位于同侧的立柱120(两个夹板223分别与位于同侧的立柱120滑动连接，使得在顶升器210的作用下，夹板223相对于立柱120上下滑动，进而使得静压板222施力于靶材坯料，靶材坯料在图中未示出);

[0029]承压组件300与立架100可拆卸连接;使得靶材坯料位于承压组件300与顶升组件200之间，借助承压组件300分别与两个立柱120可拆卸连接使得靶材坯料的初始高度可调，以便适应不同厚度的靶材坯料。

[0030]其中，承压组件300包括两个承压板310，两个承压板310之间具有间距，两个承压板310分别与两个立柱120可拆卸连接;以便实现承压组件300与立架100可拆卸连接。

[0031]其中，承压组件300还包括两个间板320，两个间板320均位于两个承压板310之间的空间，两个间板320分别与两个承压板310固定连接，两个间板320分别与位于同侧的立柱120之间具有间距;以便通过间板320增强承压组件300的整体承压能力。

[0032]其中，顶升组件200还包括两个保护结构230，两个保护结构230分设于顶升器210的两侧，两个保护结构230相对于顶升器210对称分布;以便在置顶平台110与静压平台220之间，除顶升器210之外，通过增设的两个对称分布的保护结构230，平衡静压板222在施力过程中的受力分布。

[0033]其中，保护结构230包括弹簧231和吊杆232，弹簧231的一端与置顶平台110固定连接，弹簧231的另一端与吊杆232的一端固定连接，吊杆232的另一端与静压板222固定连接;以便实现平衡静压板222在施力过程中的受力分布的作用。

[0034]其中，顶升器210还包括顶升驱动器212，顶升驱动器212与顶升杆211传动连接。

[0035]值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的顶升驱动器212的具体结构等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及到的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不做进一步具体展开详述。

[0036]对于本领域的技术人员而言，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围。

说明书附图(8)