工作原理
JEM-1400采用透射电子显微镜(TEM)技术,高能电子束(80~200kV加速电压)穿透厚度<200nm的样品,通过电磁透镜系统聚焦并放大透射电子信号。电子与样品原子核的弹性散射形成明场像(反映原子排列),与非弹性散射(如晶格振动、等离子体激元)结合可获取成分信息。设备支持高分辨TEM(HRTEM)、扫描透射电镜(STEM)模式,结合选区电子衍射(SAED)可实现晶体结构与缺陷的同步分析,符合ASTM E823与ISO 15708标准。
应用范围
该仪器适用于材料科学(金属/陶瓷/高分子晶体缺陷检测)、生物医学(病毒/细胞器超微结构观察)、半导体工业(芯片纳米级线路检测)及纳米技术(量子点/碳纳米管形貌表征)等领域。其原子级分辨率可精准解析材料微观结构,是纳米科学与工业质量控制的核心工具。
产品技术参数
加速电压:80~200kV(连续可调,稳定性±0.1%)
点分辨率:0.2nm(STEM模式),线分辨率:0.14nm(HRTEM模式)
放大倍数:50~1,500,000倍(无级变焦)
样品台:五轴自动样品台(X/Y/Z/旋转/倾斜,最大样品尺寸φ3mm)
探测器:2k×2k像素CCD相机(Gatan Orius)、STEM环形探测器
真空系统:离子泵+涡轮分子泵(本底真空<10⁻⁵Pa)
电子枪:LaB₆六硼化镧电子枪(亮度8×10⁸A/cm²·sr)
数据接口:千兆以太网(支持日本电子TEM Center软件)
电源:AC 100-240V(50/60Hz,功率≤2kW)
尺寸:2000mm×1500mm×1800mm(重量≤1500kg)
产品特点
原子级分辨率成像:HRTEM模式分辨率达0.14nm,清晰呈现晶体晶格条纹与位错;
多模式成像能力:支持明场/暗场TEM、高角环形暗场STEM(HAADF),适配形貌与成分分析;
高稳定性电子源:LaB₆电子枪寿命长,亮度高,确保长期稳定成像;
智能化软件平台:TEM Center软件支持自动对焦、图像拼接、衍射斑标定与三维重构;
扩展能力:可选配EDS(能谱仪)、EBSD(电子背散射衍射)及原位加热/拉伸样品台;
安全防护设计:辐射防护罩、紧急停止、自动泄压阀,符合实验室安全规范;
合规认证:通过CE认证,符合ASTM E823、ISO 15708标准。
JEM-1400提供一年整机质保与电子枪校准服务,其精准、高效、多功能的特性,成为透射电子显微分析领域的高端解决方案,助力用户实现从基础研究到工业质量控制的全流程需求。