SPM模式原子力显微镜
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SPM模式原子力显微镜
来源:辅光精密仪器(上海)有限公司
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简介: 辅光精密仪器(上海)有限公司推出的FPANF-AFT-KP150 SPM模式原子力显微镜,是一款集高精度纳米检测与模块化扩展能力于一体的先进表面分析设备。该设备通过扫描探针显微技术(SPM)实现样品表面三维形貌、力学性能及电学特性的非破坏性检测,广泛应用于科研攻关与工业质量控制领域,为用户提供亚纳米级分辨率的微观世界解析方案。
产品详细

 孚光精仪


工作原理

FPANF-AFT-KP150采用光杠杆式原子力显微技术,通过微悬臂探针扫描样品表面。当探针针尖与样品接近时,原子间作用力导致悬臂弯曲,激光照射悬臂背面并反射至高精度光电探测器,通过检测激光位移变化获取表面形貌数据。设备支持接触模式、轻敲模式及力曲线测量,可适配不同样品特性与检测需求。



应用范围

该设备广泛适用于半导体、材料科学、生物医学及精密制造等领域,主要用于:芯片表面缺陷检测与薄膜厚度测量;金属、陶瓷、高分子材料的纳米级形貌分析;生物样本(如细胞、DNA)的表面结构观察;以及纳米材料研发、摩擦学研究及工业产品表面质量控制。



产品技术参数


最大扫描范围:XY轴150μm×150μm,Z轴15μm

XY轴分辨率:0.1nm(亚纳米级)

Z轴噪声水平:<0.05nm

扫描速度:0.1-50Hz(可调)

探针类型:氮化硅/金属镀层探针(可选)

工作环境:温度15-35℃,湿度<70%RH

外形尺寸:800×650×800mm

电源:AC220V±10%, 50Hz


产品特点


高稳定性架构:采用工业级大理石基座与主动抗震系统,适配实验室与生产线环境。

智能化软件:内置自动调平、焦点追踪及数据分析模块,支持3D形貌重建与统计计算。

多功能扩展:可选配导电探针、高温样品台(最高300℃)及液体环境检测模块。

超精密度成像:亚纳米级分辨率,可清晰捕捉表面缺陷与纳米结构细节。

用户友好界面:10.1英寸触控屏集成控制,数据可导出为3D图像、轮廓曲线及力学曲线报告。

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标签:SPM模式原子力显微镜,物理检测设备
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