简介： 本发明公开了一种用于TEM分析的地质薄片样品的制备方法，包括以下步骤：准备薄片；选取分析区；固定薄片；钻取分析区；获取离子减薄的薄片样品和离子减薄处理。常规的用于TEM分析的地质薄片用玻璃切割刀进行分割，不仅影响地质薄片其他区域的再次利用，而且因矿物岩石之间硬度差别较大，TEM样品制备的成功率较低，本发明首次以钻取的方式制备选定的样品区域，提高了地质薄片的TEM样品制备的成功率。