简介： 本实用新型涉及一种硅烷类合成尾气回收装置，其包括进气缓冲罐、合成炉、第一冷凝器、尾气缓冲罐、隔膜压缩机、第二冷凝器以及进压缩尾气缓冲罐；其中，所述进气缓冲罐、合成炉、第一冷凝器、尾气缓冲罐、隔膜压缩机、第二冷凝器、进压缩尾气缓冲罐和合成炉依次通过管道连接；所述进气缓冲罐和合成炉之间的管道上设有一自动调节阀。本实用新型的硅烷类合成尾气回收装置具有结构简单、成本低、稳定可靠且不会产生新的废水等诸多优点。