简介： 本发明公开了一种回收法制备无水氟化氢工艺及装置，该工艺包括以下步骤：①将浓缩后得到的浓氟硅酸、氟化钙粉末与浓硫酸共同作用，氟硅酸分解成四氟化硅和氟化氢，同时获得稀硫酸；氟化钙与稀硫酸反应获得氟化氢和硫酸钙；过滤硫酸钙；②将含有氟化氢的混酸反应液进蒸馏系统蒸馏得到粗氟化氢气体；该工艺和装置资源综合利用程度高，三废排放量少，除少量废气、过滤废水排放外，其余排放物都得到合理利用，符合国家节能减排的产业政策，属于环保建设项目；所需装置设备较少，框架设备布置紧凑，充分利用空间，占地面积小；工艺技术操作压力低，有效防止运行中出现有害气体的泄漏扩散。