简介： 本发明公开了一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法，包括：(1)将硅片浸入包含0.01‑200mmol/L的金属离子盐、1‑10mol/L的氢氟酸和0.1‑10mol/L的黑硅制绒液中进行制绒；(2)用去离子水清洗制绒后的硅片，吹干；(3)采用20‑80wt％的硝酸溶液清洗步骤(2)中得到的吹干后的硅片以去除沉积在硅片表面上的金属颗粒；(4)用去离子水清洗黑硅清洗液清洗后的硅片，吹干，制得具有绒面结构的硅片；和(5)重复步骤(1)至(4)，直至黑硅清洗液达到使用寿命，以达到使用寿命的黑硅清洗液为原料配制黑硅制绒液。本发明方法可以简单、有效地实现黑硅清洗液特别是其中的金属离子的重复利用，降低了制绒成本和废水处理成本，绿色环保。