简介： 本发明提供一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂,其包括50到80重量%的醋酸正丁酯,丙二醇烷基醚,和丙二醇烷基醚醋酸酯。该稀释剂既对人类无毒害,也不对生态带来不利影响,而且没有不适的气味。其废液和与之相关的废水容易处理,由此使得这种稀释剂对环境友好。本发明的光致抗蚀剂稀释剂具有优异的冲洗能力。