简介： 一种水处理方法,可除去CMP废水中所含的溶胶状微粒以及含氮组分,具体为利用具有凝胶状的第2过滤器的过滤装置(13)进行过滤处理,除去CMP废水中的溶胶状微粒成分。另外通过利用电极(12)进行电化学处理,可以除去CMP废水中的含氮组分。这些过滤处理以及电化学处理,可以使用独立的槽进行,也可以在同一槽中进行。通过在同一槽内进行过滤处理以及电化学处理,可以提供节省空间的水处理装置。