简介： 本发明公开了一种超纯水机的内部系统清洗消毒装置，包括通过管路依次连接的自来水进水阀门，活性炭保安过滤器、高压泵、反渗透装置，用以盛放经反渗透装置制的纯水的纯水箱，在纯水箱的底部设置纯水箱地漏阀门，用于排放废水；在纯水箱后级依次连接纯水循环泵和单向阀，单向阀的后级分别并接压力包、超纯水阀门和清洗阀门；清洗阀门的输出连接至自来水进水阀门和活性炭保安过滤器之间，其同活性炭保安过滤器、高压泵、反渗透装置、纯水箱以及纯水循环泵、单向阀形成一个密闭的循环回路。本发明无须再打开超纯水机的内部系统组件，有效防止了超纯水机的二次污染。