简介： 本发明公开了一种PVD镀膜件、电镀件的高精清洗工艺，包括依次设置的工序：水洗一段、气洗一段、水洗二段、水洗三段、水洗四段、气洗二段、水洗五段、皂化清洗、真空切水、碳氢清洗、蒸汽浴洗与干燥以及气相清洗，通过对各个工序中的真空度、清洗剂温度、超声波频率、清洗时间的控制以及清洗剂的选择，从而形成对PVD镀膜件、电镀件的高精清洗。本发明对污染物处理彻底，良率可提高到98％以上，工艺精减，大大减少了安装空间，采用环保的清洗剂，符合环保要求，减排废水97％以上，工序后段清洗剂可回收程度高，清洗成本低。