简介： 本发明提供一种粗品六氟化硫的纯化方法，包括以下步骤：裂解除杂；水洗除杂；碱洗除杂；低压吸附；高压吸附；精馏除杂。本发明通过设置一至六级水洗塔，经过多次水洗有效去除粗品六氟化硫中的氟气、低硫氟化物、亚硫酰氟化物，提高六氟化硫的纯度，同时对水洗过程中的副产物氢氟酸进行回收，减少废水的产生，实现变废为宝；本发明通过设置一至六级碱洗塔，经过多次碱洗有效去除六氟化硫中的HF、CO₂、SO₂气体，提高其纯度，碱洗塔产生的废液通过在碱液收集槽中利用生石灰处理后重复利用，避免废液的产生，降低污染，节约成本。