简介： 本实用新型涉及一种去除硅片表面浆料的喷淋装置，包括清洗槽、水箱、喷淋嘴、沉淀池和过滤器，清洗槽安装在地面上设置的地槽内，水箱包括水箱一和水箱二，分别设置在清洗槽两端，且在其前端对应设有喷淋管一和喷淋管二，两个喷淋管都通过管旋转连接器固定在清洗槽内，两个喷淋管上都设有多个喷孔，在每个喷孔内安装有喷淋嘴，清洗槽内设置有钢板，在钢板下端设有筛板，筛板下端设有废水池，沉淀池包括一级沉淀池和二级沉淀池，一级沉淀池的进水口与废水池的出水口管道连接，出水口连接二级沉淀池的进水口，二级沉淀池的出水口连接过滤装置的进口；本实用新型降低生产成本，增加硅片喷淋冲洗幅度范围，同时降低硅片清洗脏污率，从而降低硅片隐裂。