简介： 本实用新型公开了一种新型三氯氢硅的合成生产装置，包括合成塔、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器、湿法喷淋装置和废气预处理装置，所述合成塔、废气预处理装置、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置按照由左到右的顺序连接，废气预处理装置包括水泵、中和沉淀池、三氯氢硅检测报警器和箱体，箱体水平设置，箱体的左端为进气端，右端为排气端，箱体内设有多个活性炭吸附板和喷头，多个活性炭吸附板分别设于箱体的进气端和排气端，喷头设在箱体顶部，箱体底部设有凹陷的废水收集槽，废水收集槽、中和沉淀池、水泵和喷头依次通过输水管道相连接，三氯氢硅检测报警器设于箱体上部。本实用新型除尘效率高，经济效益好，安全可靠。