简介： 本发明公开了一种等离子流化生产锗烷的方法，氢气进入等离子氢发生器产生等离子氢进入流化床；与锗粉进行流化反应生成锗烷；反应物流的气相增压后进行冷凝，冷凝液塔的中上部进入脱轻塔进行轻组分杂质的去除，塔釜物料从中下部进入脱重塔进行重组分杂质的去除，塔顶得到纯度不低于5N纯度的锗烷进入锗烷产品罐。脱轻塔塔顶采出的轻组分杂质与脱重塔塔釜采出的重组分杂质进入尾气燃烧器进行焚烧处理生产二氧化锗粉末，再用氢气进行还原生产锗粉，得到的锗粉进入锗粉罐，循环利用。本发明解决了目前锗烷生产效率低下，副产物与废水产生等问题，不产生废水和难以分离及处理的副产物，反应的效率高，产品纯度高。