简介： 本发明是一种吹气腐蚀机及腐蚀、清洗方法,其特征是进气阀与进气管相连,进气管的一端与盘管筒相接,另一端与A气室连接;加工时将晶片置于吹气瓶底部,并加设加盖蒙网,吹气瓶安装在A气室上,吹气瓶与腐蚀溶液槽中的A气室通过快速密封螺纹连接;净水机终端通过进水阀与进水管一端连接,进水管的另一端与B气室相连,废水管接纯净水槽上的溢水孔,水蒸气管接抽风孔,监控系统设置在控制柜上。优点:在腐蚀作业和清洗作业时,压缩空气经流量控制,晶片翻腾的分散游离不会产生叠片贴合和腐蚀痕不良品;腐蚀瓶与气室是快速螺纹连接,安装和拆卸操作便捷;单瓶装片量比摇篮提高3000pcs,产能效率高;结构简单,无须伺服电机控制。