本发明涉及一种四甲基氢氧化铵显影废液再生系统和再生方法。所述系统包括若干送料泵、中和分离装置、吸附装置、阳离子交换装置、阴离子交换装置和净化处理装置,所述中和分离装置、吸附装置、阳离子交换装置、阴离子交换装置和净化处理装置各至少设有一组,所述中和分离装置、吸附装置、阳离子交换装置、阴离子交换装置和净化处理依次通过带控制阀的料管连接,通过该系统能够长期稳定的循环再生高纯度的四甲基氢氧化铵显影液,达到节能环保的目的,同时降低
半导体工厂废水排放的压力,为工厂节约废水处理的成本,从而达到资源有效循环利用的目的。