简介： 本发明涉及一种雷达领域，尤其涉及一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置。技术问题：提供一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置。本发明的技术方案是：一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置，包括有废水清理和保护机构、废渣积聚机构和废渣处理机构等；废水清理和保护机构与废渣积聚机构相连接；废水清理和保护机构与废渣处理机构相连接。本发明实现了能够有效对硅基板进行刻蚀，刻蚀时不会损伤硅基板其它部位，并且能够有效的将废液和残渣进行清理收集，达到保护环境，且使得后期驱动线圈的填入不存在问题，从而提高雷达使用寿命，并且确保了雷达准度的效果。