简介： 本发明涉及一种高浓度缓冲氢氟酸蚀刻废液的无害化处理方法，属于工业废水处理领域。所述方法为：将废液和可溶钙化合物溶液同时加入至微溶钙化合物悬浮液中，反应后将所得产物过滤分离，得到滤渣和滤液。本发明的方法处理高浓度缓冲氢氟酸蚀刻废液，所得滤液氟离子浓度满足《污水综合排放标准》(GB8978‑1996)中一级标准，处理过程无氨气逸出，处理效率高，处理成本低。