简介： 本发明的公开了一种高催化活性TiN/Pt复合膜电极及其制备方法，属于能源材料制备技术领域，其中包括：1)通过磁控溅射技术获得TiN膜，其中Ti含量的范围在50‑70at％，N元素含量为30‑50at％。2)通过磁控溅射技术获得TiN膜后，再沉积负载量为0.3‑3ug/cm2，颗粒大小为2‑100nm的Pt膜。针对湿法化学工艺中存在的工艺复杂、成本高、环保性差问题，以及粉体催化剂不易牢固装配，氮化钛粉体和Pt协同催化有待提高等问题，本发明采用磁控溅射技术制备TiN/Pt复合膜，原材料采用纯金属，制备方法简单易行，易规模化，无废水及废弃排放，环保性好；膜材料直接附于基体，不需额外粘连。该发明有很好的工业化推广前景，可在燃料电池等邻域有广泛应用。