简介： 一种用于制备多元素改性铝化物涂层的化学气相沉积设备，包括真空反应腔室、气体供给控制系统以及真空与尾气处理系统，其设备工艺参数灵活性提高，涂层成分灵活、可控，产品一致性良好，气体供给控制系统的每一路工艺气体管道上都依次设置有气体减压阀、体积流量计和质量流量控制器，实现化学气相沉积工艺的高精度控制。本实用新型结构简单，操作方便，无包埋工艺，无须涂后清洗，减少了工业废水多的排放，能够满足改性铝化物涂层工业生产和环保要求，特别是用于航空发动机膜冷涡轮叶片或地面发电用重型燃气轮机透平叶片内冷通道表面多元素改性铝化物涂层的生产，涂层厚度均匀、叶片内孔道表面涂层全覆盖，同时保证叶片外表面无有害厚度的涂层生成。