简介： 本发明是关于一种水中微粒的去除装置及方法。该装置包含:一快混槽、一慢混槽及一沉淀或薄膜槽;其特征在于:所述沉淀或薄膜槽中包含一沉淀区,用于使所述慢混槽出流水中的胶羽沉淀;及一薄膜过滤区,用以过滤经所述沉淀区沉淀后的水。所述沉淀区及薄膜过滤区是由隔板区隔且两区域具有开口可相互连通,其中所述薄膜过滤区是设置于相对于沉淀或薄膜槽底一偏高处。本发明的处理装置较佳是用于处理例如化学机械研磨(CMP)废水或中、高浊度的原水。