简介： 本公开涉及污废水深度处理工艺技术领域，提供了一种废水深度处理系统。该处理系统包括臭氧制备系统、氧化系统和尾气回收系统，臭氧制备系统包括空分制氧设备和臭氧发生器；氧化系统包括臭氧氧化反应器和臭氧破坏器；尾气回收系统用于净化尾气混合气体并与空分制氧设备共同朝向臭氧发生器提供氧气。本公开采用空气源作为气源，利用空分制氧设备制得高浓度富氧气体作为臭氧制备的原料气，节约原料气成本，在整个系统中可回收利用近80～90％的尾气混合气体，并进行分离纯化作为原料气制备臭氧，大大降低了臭氧原料气的用量，同时降低了空分制氧设备的使用能耗，通过空分制氧设备补充系统损失的氧气，无需借助其他设备，可有效果降低设备成本。