简介： 本发明涉及一种硅片碱蚀液冲洗废水的回收工艺及方法，更具体地是涉及一种含有氢氧化钾、硅酸钾、有机物的碱液的净化工艺，属于三废处理技术领域。包括固液分离膜过滤系统、纳滤膜过滤系统。所述的固液分离膜过滤系统位于纳滤膜过滤系统的前端。固液分离膜过滤系统包括但不局限于陶瓷固液分离膜、管式固液分离膜、板式固液分离膜以及中空纤维膜等。所述的纳滤膜过滤系统包括但不局限于卷式纳滤膜。其中纳滤膜设置两级。膜过滤系统设置若干个阀门用于调整系统的操作压力、进出水流量以及固液分离膜的反冲洗、化学清洗等。本发明具有过滤效果好、自动化程度高、适应性强、占地面积小等优点，因此本发明特别适用于硅片碱蚀液冲洗废水的回收。