简介： 本发明属于芯片废水处理技术领域，具体提供了一种用于深度生物处理纳米级电子芯片废水的方法，本发明通过构建以立体层级生态处理耦合磁负载混凝沉淀复合系统深度处理TMF‑RO膜系统产生的浓水。复合池上层种挺水植物作为观赏和生物膜载体两用，搭建小规模人与自然和谐生态空间，中层构建活性污泥法系统通过污泥降解用于深度处理浓水中的COD、氮磷、特征风险物质（如纳米颗粒），下层布设磁负载混凝沉淀池辅助污泥沉淀、转输和排放，从上而下形成一个兼具景观和废水处理的新型生态型分散式污水净化系统，实现深度生物处理纳米级电子芯片废水。