简介： 本实用新型公开了半导体行业研磨废水回用为超纯水的处理系统,它包括彼此之间通过连接管路依次串联相连的研磨废水水箱、膜生物反应器、离子交换系统、清水箱、超滤系统、紫外线消毒系统、一级反渗透系统、脱气装置、二级反渗透系统、中间水箱、连续电去离子系统和产水箱,离子交换系统连接有再生系统,膜生物反应器的清水出水口通过出水管线与清水箱的进水口相连,二级反渗透系统的浓水出口通过第二浓水管路与超滤系统的进水口相连,中间水箱的进水口通过中间水管路与脱气装置的出水口相连。采用本系统可得到电阻高达18MOhm-cm以上的高品质纯水。该套系统整体回收率高达75%,整体投资成本较低。