简介： 本发明涉及一种光致抗蚀剂显影废水的处理方法，其使用RO装置，无须用碱剂来中和RO透过水，可防止或者抑制因粘泥引起的RO膜的阻塞，且可获得良好水质的RO膜透过水。其无须对光致抗蚀剂显影废水进行pH值调整，在与阳离子交换树脂接触后，通过MF膜装置等进行除浊处理，接着向逆渗透膜装置通水，获得膜透过水。