简介： 本实用新型公开了一种真空反应蒸镀装置，包括：真空室，其设有用于将多孔基材置于所述真空室内的放置区；蒸发机构，其置于所述真空室内，并位于多孔基材放置区的下方；可被氧化的金属材，其置于所述蒸发机构内，用于提供真空反应蒸镀的金属蒸汽；氧气喷射装置，其设置在多孔基板放置区下方，用于提供真空反应蒸镀的氧气，将氧气沿多孔基材表面喷出；真空机组，其置于所述真空室外并连通所述真空室，用于将真空室的真空度达到阈值要求。通过本实用新型制备出的锂离子电池陶瓷隔膜，其陶瓷层的厚度可以大大降低，从而大大增加电池能量密度，降低生产成本，又能提高陶瓷层与基材结合力。 1