简介： 一种新型化成针床探针模块，包括底板(101)，所述底板(101)上部位于正极探针(1021)、负极探针(1022)之间设置负压装置，所述负压装置穿过底板(101)并位于底板(101)底部下方的锂电池(802)注液口(805)正上方，所述负压装置将注液口(805)密封形成负压系统。本实用新型通过在化成过程中将注液口密封形成负压，负压装置对化成过程中生成的有毒及腐蚀性气体进行收集，集中处理，不让其排放到车间及自然环境中，从而改善了操作人员的操作环境，不会污染环境，有利于环保。