简介： 本申请公开了一种单晶压电薄膜及其制备方法，包括对单晶压电衬底的加工表面进行第一退火处理，以在加工表面形成钝化层；单晶压电衬底为铌酸锂；从加工表面对单晶压电衬底进行离子注入处理，使得单晶压电衬底内形成压电薄膜层与损伤层，得到包括压电薄膜层的单晶压电衬底；采用清洗剂进行清洗处理，得到清洗后的单晶压电衬底；将清洗后的单晶压电衬底沿加工表面与支撑衬底键合，得到键合结构；对键合结构进行剥离处理，使键合结构沿损伤层分离，得到单晶压电薄膜。本申请通过在单晶压电衬底表面形成钝化层，能够有效避免压电薄膜层在制备过程中被腐蚀，降低制备工艺的复杂度，提升产品厚度的准确性与均匀性，提升产品良率。