简介： 一种复合蓝宝石衬底基片及其制备方法，该复合 蓝宝石衬底基片是在蓝宝石基片(α－ Al2O3)背面覆盖一层铝酸锂(γ－ LiAlO2)构成，它是利用气相传输 平衡方法制备的，该复合蓝宝石衬底基片 LiAlO2/α－ Al2O3，克服了蓝宝石(α－ Al2O3)硬度高的缺点，提高了蓝宝石基氮化物芯片 LiAlO2/α－ Al2O3/GaN的减薄和划片的效率，划片成品率普遍提高5％－10 ％。